介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的非常密度高。初用于氟利昂类（Freon）、哈隆类（Halong）物质的分解处理，是国家为了研究保护地球臭氧层而设立的科研项目。延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。

二、介质阻挡放电低温等离子废气处理设备技术作用原理

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）

介质阻挡等离子体反应区富含物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

等离子体去除污染物的基本过程

过程一：高能电子的直接轰击

过程二：O原子或臭氧的氧化

O2+e→2O

过程三：OH自由基的氧化

H2O+e→OH+H

H2O+O→2OH

H+O2→OH+O

过程四：分子碎片+氧气的反应

三、介质阻挡放电低温等离子废气处理设备技术特点

介质阻挡等离子体工业废气处理成套设备为化工清洁生产奠定了基础，是近代化学工业生产的一次技术革命。

介质阻挡等离子体工业废气处理技术具有以下特点：

介质阻挡低温等离子体技术应用于恶臭气体治理，具有处理效果好，运行费用低廉、无二次污染、运行稳定、操作管理简便、即开即用等优点。

①介质阻挡低温等离子体放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；

②介质阻挡低温等离子体技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3-15米/秒，即达到很好的处理效果；

③气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电与废气不直接接触，根本上解决了低温等离子体技术设备腐蚀问题；

④介质阻挡低温等离子体主机为成套工业废气处理装置，前面配有空气净化专用塔，能有效去除废气中的粉尘和水分，操作简单；

⑤自动化程度高，设备启动、停止十分迅速，随用随开，对于部分化工生产的不连续性，可以在生产时开启，不生产的间隙停止运行，大量的节约能源；

⑥运行成本较低，比常用的蓄热式燃烧炉RTO节约运行费用5-8倍，每立方米气量运行费用仅为0.3～0.9分钱，部分高浓度废气可以通过空气稀释后用介质阻挡低温等离子体技术处理；

⑦应用范围广阔，基本不受气温和污染物成分的影响，对恶臭异味的臭气浓度有良好的分解作用，恶臭异味的去除率达80-98，处理后的气体臭气浓度达到国家标准；

⑧介质阻挡低温等离子体技术处理工业废气技术不是水洗技术，是通过高能量等离子体对污染物的直接击穿和直接轰击，使分子链断裂，并非污染物的转移。

四、介质阻挡放电低温等离子废气处理设备技术工艺

异味气体从气体收集系统收集后，一部分废气需要进行预处理，除水后进入等离子体反应区，在高能电子的作用下，使异味分子受激发，带电粒子或分子间的化学键被打断，同时空气中的水和氧气在高能电子轰击下也会产生OH自由基、活性氧等强氧化性物质，这些强氧化性物质也会与异味分子反应，使其分解，从而促进异味消除。净化后的气体经排气筒高空排放。

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